白光干涉仪校正三维形貌

作为建模形貌校准领域的全球定位种系统监测科学仪器之一，在凝电子、凝飞轮、凝光学等领域，虹干预仪可以给予更全球定位种系统的监测需求。校准建模形貌的种系统原理是在视场之内内从试样较厚内侧到顶上逐层扫描，获数百幅干预条纹图片，找到该过程中每一个像素点西北面光强最大时的所在位置，进行时3D重建。

SuperViewW1虹干预仪由光学照明种系统、光学扫描种系统、直线扫描控制种系统、数字电路种系统、系统操控系统组成。其中数字电路种系统作为科学仪器基本部份，由计算机和基带协处理器组成。利用计算机采集一系列原始图片数据，然后使用专用的基带协处理器进行时数据解析作业。重建线性能系统会杂讯试样较厚噪点，在硬件种系统的快速反应下，亮度达0.1nm。

耐用性特点

1、上半部/粗糙度校准功能性：

高到亚纳米级的水平亮度，在宽度、水平、角度、直径等各类上半部大小校准功能性以及相关联较厚整体原材料质量的粗糙度等加权；

2、系统会化校准功能性：

系统会单区域校准/系统会多区域校准/系统会剪裁校准；

3、复合型扫描线性：

集合了PSI全球定位种系统BrownVSI大之内双重优点的EPSI扫描线性，直接覆盖从超卷曲到粗糙等所有子类试样，不须切换，操控便捷；

4、双重挡风玻璃受保护功能性：

Z轴上装有挡风玻璃飞轮电子传感器、操控系统ZSTOP挡风玻璃受保护功能性，双重受保护，多一重就让；

5、环境噪声监测功能性：

环境噪声评价功能耐用性够定量监测科学仪器意味著所处环境的中心等噪声数值，对科学仪器的调试、飞行测试可靠性给予个人兴趣；

6、完善的售后服务框架：

设备故障远程Brown现场解决，操控系统折扣适配。

应用场景 器件—上半部大小校准

光伏栅线—厚度和宽度校准

光学衍射片

超精密原材料

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